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辽宁石墨电极

  石墨电极是电冶炼工业中重要的导电材料,具有良好的导电、导热性,机械强度高等特点,广泛的应用于电弧炼钢炉,矿热电炉、电阻炉,已经成为当代原材料工业的重要组成部分。

  石墨电极煅烧的过程:碳质原料在高温下进行热处理,排出所含的水分和挥发分,并相应提高原料理化性能的生产工序成为煅烧,一般碳质原料采用燃气及自身挥发份作为热源进行煅烧,较高温度为1250-1350℃。

  煅烧使炭质原料的组织结构和物理化学性能发生深刻变化,主要体现在提高了焦炭的密度、机械强度和导电性,提高了焦炭的化学稳定性,为后序工序奠定了基础,煅烧的设备主要有罐式煅烧炉、回转窑和电煅烧炉。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚辽宁石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的辽宁高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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时间:2021/12/9 9:18:35