辽宁石墨垫

　　辽宁石墨垫是由纯辽宁石墨板或金属增强石墨板切割或冲压而成的具有众多密封性能。

　　石墨垫是从纯石墨打孔或切割而成的，具有良好的耐高、低温，良好的压缩回弹性和强度性，各种各样的圆型复杂的集合垫片被广泛应用于管道、泵、阀门、压力容器热交换器、发电机、冷凝器、空气压缩机、排气管、制冷机等。

　　石墨垫可用于各种工业上的管道法兰，热换气、阀盖等，以及液面计、水准仪上的特殊形状法兰。

　　石墨垫以石墨线为材料，经编织整形而成。石墨垫适用于高温、高压、强腐蚀性介质下工作的各类阀门、泵、反应釜等设备的填料函密封。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。