辽宁石墨管

　　辽宁石墨管的分类：

　　（1）根据加热方式：纵向加热石墨管，横向加热石墨管；

　　（2）按性能分：普通石墨管适用于低温院子化元素如银、镉、铅；热解石墨管适用于低、中、高温原子化元素；平台石墨管适用于中和、低温原子化元素。

　　石墨管的作用：原子吸收光谱法是依据出于气态的被测元素基态原子对还元素的原子共振福射有强烈的吸收作用而建立的。该法具有检出限低准确度高，选择性好、分析速度快等优点。在温度吸收光程，进样方式等试验条件固定时，样品产生的待测元素相基态原子对作为锐线广元的钙元素的空心阴极灯所辐射的单色光产生吸收，其吸光度与样品中该圆度的浓度成正比。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。