辽宁冶炼坩埚

　　目前我国石墨热场中所用的辽宁冶炼坩埚的注意原料是结晶形天然石墨。所以它保持着天然石墨原有的各种理化他行。具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小、对急热、急冷具有一定抗应变性能。具有油相的化学稳定性。

　　因此冶炼坩埚具有以上良好的性能，所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛应用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼，并有着较好的技术经济效果。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。