辽宁石墨替代块

　　辽宁石墨替代块的性能：

　　（1）耐高温：石墨替代块是目前已知的较为耐高温的材料之一，其熔点为3850℃±50℃，沸点达4250℃，它在7000℃超高温电弧下10S，石墨的损失较小按重量级石墨损失0.8%，由此可见石墨的耐高温性能是很突出的；

　　（2）导热性和导电性：石墨具有良好的导热性和导电性，与一般的材料相比，其导热导电性是相当高的，比不锈钢高4倍，比碳素钢高2倍，比一般的非金属高100倍；

　　（3）特殊的抗热震性能：石墨具有良好的抗热震性能，即当温度突然变化时，热膨胀系数小，因而具有良好的热稳定性，在温度激冷即热的变化时，不会产生裂纹；

　　（4）润滑性：石墨的润滑性能类似于二硫化钼，摩擦系数小于0.1，其润滑性能随鳞片大小而变，鳞片愈大，摩擦系数愈小，润滑性愈好；

　　（5）化学稳定性：常温下石墨具有良好的化学稳定性。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。