辽宁石墨环

　　辽宁石墨环主要应用于石油、化工、化纤、采煤、发电、冶金等工业范畴的法兰、阀门、反应釜、泵的密封。

　　石墨环是选用柔性石墨带或柔性石墨编制填料，经模压制成不同尺度的换装产品。

　　适应于热水、高温、高压蒸汽、热交换液、氮气、有机溶剂、碳氢化合物、低温液体等介质。用于压缩机、基本、阀门、化工仪器、仪表等。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。