辽宁石墨垫片

　　辽宁石墨垫片是由柔性石墨拨片切割而成的，根据应用的需要共分为四种类型：

　　（1）柔性辽宁石墨垫片：从柔性石墨薄片上切割而成，用于管道法兰和阀盖等。建议这种垫片都为小直径垫片，这取决于它的低机械强度；

　　（2）柔性石墨垫片MI：带钩的碳钢薄片被柔性石墨薄片夹在中间，然后被切割成特定的尺寸，机械强度很高；

　　（3）柔性石墨垫片PM：柔性石墨薄片被粘附在0.2毫米厚的304不锈钢薄片的两面，具有很高的机械强度并且易于运输，由于它也可以被切割成复杂的形状，这种垫片被广泛的应用在各种工业中；

　　（4）柔性石墨垫片PM-A：将T/#1215中的不锈钢薄片换成316钢。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。