辽宁发热盘模具

　　模具在现在的社会中运用的十分广泛，其发展前景十分广阔。

　　辽宁发热盘模具：

　　（1）导热及导电性能好；

　　（2）在高温下，强度随温度升高而增大；

　　（3）线膨胀系数低等很好的热稳定性能及抗加热冲击性；

　　（4）具有良好的润滑和抗磨性；

　　（5）多数金属不易发生反应；

　　（6）易于加工，机械加工性能好，可以制作成形状复杂，精度高的模具。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用辽宁石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯辽宁石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。