辽宁电子烧结模具

　　辽宁电子烧结模具应用于电子工业红，用石墨导电、导热特性，其导热、导电性能别于金属、具有随温度升高导热系数反而减小，极高温度下不导热、超高温，有可靠的隔热性。

　　电子烧结模具要求纯度高，固定碳的含量大于85%，有害杂质含量小于1%。近年来高速铣削突破了传统铣削难以加工高硬、高强、高韧模具材料的限制。但电火花加工具有加工精度和表面质量高，可加工范围宽，特别是在复杂、精密、薄壁、窄缝、高硬材料的模具型腔加工的优势是高速铣削所不能比拟的，因此放电加工将仍然是模具型腔加工的主要手段。

　　在现代工业生产中，产品零件广泛采用冲压、锻压成型、压铸成型、挤压成型或其他成形加工方法，与成形模具相配套，使坯料成形加工成符合产品要求的零件。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的辽宁石墨坩埚、辽宁石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。